概要
センサーシステムチームでは、各種センサー及びシステム、ディスプレイ関連の研究開発を進めており、現在までに数回にわたって中大型国策課題を成功させて来ました。
2003年2月には優れた研究開発能力と実績を認められ、釜山・慶南で唯一の政府指定製造技術研究センター(NMRC)に指定されるという成果を挙げました。
現在は薄膜/厚膜プロセス装置を利用して新製品及び新技術開発に邁進しており、今後、部品素材分野で地域中核R&Dセンターとしての地位の確立を目指しています。
- 白金薄膜温度センサー
- 金属薄膜圧力センサー
- 容量型湿度センサー
- ESC システム用圧力センサーモジュール
白金薄膜温度センサー, Platinum Thin Film RTD Sensor
白金薄膜温度センサーの開発技術を応用して、新物質及びセラミックス基板を利用した高分解能、超小型、超低価、抵抗型タイプの温度センサーを開発して、新物質及びシリコーン基板を利用した高分解能、超小型、サーミスター代替型温度センサーを開発します。
白金薄膜の温度センサーは、スパッタリング方式に蒸着され、フォトリソグラフィとエッチング工程によって、超微細パターニングされた後、超精密レーザートリミング工程で製作されます。各段階別に自動化された工程は IECとJISの規格によって希望する価格と仕様で調整可能です。
- センサーは高温で優秀な安全性を持ったセラミックスと白金で作って、-40℃から400℃まで安全性を持ちます。
- 白金薄膜はセラミックスの表面にスパッタされており、震動と衝撃に優秀です。
- セラミックスでコーティングされた白金薄膜表面は、 優秀な耐電圧特性と絶縁抵抗を現わします。
- IECとJISの規格によって、Pt RTDを4種クラスで分類して供給することができます。
応用分野
- 医療機器、ヒーターコントロール機器、冷却水·ボイラー、産業自動化、機械装置類の温度測定、共助システム
金属薄膜圧力センサー
金属薄膜型圧力センサーの原理を利用して、温度による抵抗変化率がゼロになる物質を蒸着して、高温、高圧用で使用可能な圧力センサーを開発します。また、Sensing Element層に温度センサーを蒸着して、温度、圧力が一つのセンサーで測定可能です。
薄膜型ストレーンゲージ式の圧力センサーは、ステンレススチールダイアフラムを直接水圧部として使うため構造が単純であり、シリコーンタイプの圧力センサーのパッケージングを行う時、ステンレススチールホールドとシリコーンとの間に圧力を認可する時、接触不良の問題を解決することができ、感度が半導体式の圧力センサーに比べ落ちるとか、劣悪な環境でも高い性能を得ることができ、高温/高圧でも使うことができる...蒸着された薄膜ストレーンゲージは、他の圧力センサーに比べ優秀な長期安全性と温度補償が容易で、電極部作業も簡単でトランスミッターの製作にも容易です。ダイアフラムとねじ部が単体型及び組立型の構造で構成が可能で、瞬間的な加圧に強く圧力漏出の恐れがなく、圧力部の材質が優秀な内部式の特性を持っています。
応用分野
- 圧力トランスジュース&トランスミッター、産業自動化、共助システム、自動車·航空、油圧·空圧システム、コンプレッサー、医療計測機器
容量型湿度センサー
容量型湿度センサー技術は、高性能を最大限に発揮しながら長期的に安全性を持つように研究しています。この技術はすぐれた線形性と繰返し性を活用して高い信頼性は勿論で、速い回答を現わす構造を適用しながらも低い温度定数と広い使用温度を使います。
停電容量型湿度センサーは、半導体基盤工程で製作しました。湿度センサーの三階の平行コンデンサー構造であり、下部金属薄膜層と上部金属薄膜層は電気伝導体であり、その間にポリマーは水気検知ポリマ ーで構成しました。上部の金属薄膜層は易しく水分が侵透できるように気孔性で工程しました。ポリマー層は空気中の水気に対して遺伝定数が直接的に変化します。
センサーは構造的に安定して良い線形性と正確性、低い温度依存性、速い回答時間で、多様な環境下で測定できます。
応用分野
- 自動車、エアコン、湿度計、家電製品、物品貯蔵庫、共助システム、医療機器、気象システム、食品加工、室内環境管理
ESC システム用圧力センサーモジュール
走行安全性制御装置であるESC(Electronic Stability Control) システム用圧力センサーモジュールは、操向の不可能な状況が発生した時、輪の制動力を制御するために最善の動作をするように支援します。
ESCシステムは各輪の制動力と駆動力が独立的に制御されるように構成して、ステアリングホイール角度、ブレーキ圧力、車速度などを検知調節しますので、ABS、TCSに基本で使われます。ESC用圧力センサー製品及び構造