概述
感应器系统部门正在对利用MEMS(Microelectromechanical System) 技术开发的各种感应器和模组以及系统进行商品化。
到目前为止，该部门已成功履行多数重大国策课题，在该领域保有国内最高开发/生产技术。
并且，为了跨过造船/船舶市场，攻占汽车、家电、医疗、化学、工业设备市场，我们正在努力研发及推出各种感应器，促进USN(Ubiquitous Sensor Network)产品以及有关项目。
- 白金薄膜温度感应器
- 金属薄膜压力感应器
- 容量型湿度感应器
- ESC用压力感应器模组
Platinum Thin Film RTD Sensor
应用白金薄膜温度感应器开发技术开发出利用新物质及陶瓷基板的高分解能、超微型、超低价型、阻抗型温度感应器，而且正在利用新物质及硅胶基板开发高分解能、超微型、电热调节器替代型温度感应器。
白金薄膜温度感应器是以溅射方式镀膜后, 通过光刻和蚀刻工程制作超微细图案, 然后经超精密激光修剪工程制作而成的。各阶段自动化工程可依照IEC和JIS规格调整为客户所需的价格和规格。
- 感应器采用在高温环境具有优秀稳定性的陶瓷和白金制成，在-40℃~400℃环境下具有稳定性。
- 由于在陶瓷表面溅射白金薄膜，对震动和冲击具有很强的耐性。
- 用陶瓷涂层的白金薄膜表面显示优秀的耐电压特性和绝缘阻抗。
- 依照IEC和JIS规格，Pt RTD可分四种等级来供应。
应用领域
- 医疗仪器、加热器控制装备、冷却水、锅炉、工业自动化、机械装置类温度测量、空调
金属薄膜压力感应器
采用金属薄膜型压力感应器的原理，并蒸发镀附随温度的阻抗变化率为零的物质，开发出可使用于高温高压的压力感应器。并且，在Sensing Element层蒸发镀附温度感应器，从而可用一台感应器测量温度和压力。
薄膜型应变规式压力感应器直接把不锈钢隔膜当作水压部，结构简单，组装硅胶型压力感应器时如果在不锈钢支座与硅胶之间接通压力，就可以解决接触不良问题。
感度虽比半导体式压力感应器差，但在恶劣环境下也可获得高性能，因此可在高温/高压环境下使用。...被蒸发镀附的薄膜应变规具有比其他压力感应器优秀的长期稳定性，温度补偿容易且电极部作业简单，便于制作发送器。隔膜和螺丝部可制作成一体型及组装型结构，强于瞬间加压，无需担心压力泄漏，而且压力部材质优秀且具有耐腐蚀特性。
应用领域
- 压力转换器&发送器、工业自动化、空调系统、汽车、航空、油空压系统、压缩机、医疗仪器
容量型湿度感应器
在容量型湿度感应技术方面，我们正在研究既发挥高性能，又具备长期稳定性的产品。此技术因利用卓越的直线性和反复性而能够确保高信赖度，而且既采用应答性快捷的结构，又能使用低温常数和宽范围的使用温度。
静电容量型湿度感应器(DY-HS Series)利用半导体基础工程制作而成。湿度感应器为三层的平行容电器结构，下部金属薄膜层和上部金属薄膜层为电气传导体，其中间的聚合物由水分感知聚合物构成。上部金属薄膜层采用容易渗透水分的气孔结构。
聚合物层的介电常数可根据空气中的水分直接显出变化。DY-HS系列感应器结构稳定，具有优秀的直线性和精确性，而且温度依存性低、应答时间快，可在多种环境下进行测量。
应用领域
- 汽车、空调、湿度计、家电产品、货物仓库、空调系统、医疗仪器、气象系统、食品加工、室内环境管理
ESC用压力感应器模组
行走稳定性控制装置ESC(Electronic Stability Control)压力感应器模组在发生不能调向的情况时为控制轮胎的制动力而支持系统进行最适动作。
ESC系统可对各轮胎的制动力和驱动力进行独立控制，而且可以感知及调整方向盘角度、制动压力、车辆速度等，基本使用于ABS、TCS。