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Sensor System

개요

선박용 압력센서를 생산한 기술력을 기반으로 MEMS기술,  SoC 설계와 같은 핵심기술을 확보함으로써,차량 자세 및 제동력을 제어하는 ESC(Electronic Stability Control) 시스템에 적용되는 압력센서를 국내 최초로 국산화에 성공함으로써 높은 기술력을 인정 받았습니다.

MEMS 센서는 자동차 뿐만 아니라 가전, 의료기기, 플랜트 등 다양한 사업분야에서 정밀 계측용으로 사용범위가 더욱 확대되고 있으며, 우리의 주요한 성장동력의 한 축을 담당하고 있습니다.

 

백금박막 온도센서

백금박막 온도센서 개발기술을 응용하여 신물질 및 세라믹 기판을 이용한 고분해능, 초소형, 초저가, 저항형 type의 온도 센서를 개발하고, 신물질 및 실리콘 기판을 이용한 고분해능, 초소형, 서미스터 대체형 온도센서를 개발합니다.

백금박막 온도센서는 스퍼터링 방식으로 증착되어, 포토리소그래피와 에칭 공정에 의해 초미세 패터닝 된 후, 초정밀 레이져 트리밍공정으로 제작됩니다.각 단계별로 자동화된 공정은 IEC와 JIS 규격에 따라 원하는 가격과 사양으로 조절 가능합니다.

  • 센서는 고온에서 우수한 안정성을 가진 세라믹과 백금으로 만들었으며,-40℃에서 400℃까지 안정성을 가집니다.
  • 백금 박막은 세라믹 표면에 스퍼터되어 있어 진동과 충격에 우수합니다.
  • 세라믹으로 코팅된 백금 박막 표면은 우수한 내전압 특성과 절연저항을 나타냅니다.
  • IEC와 JIS규격에 따라 Pt RTD를 4가지 클래스로 분류하여 공급 할 수 있습니다.

응용분야

  • 의료기기 / 히터 콘트롤 장비 / 냉각수,보일러 / 산업자동화 / 기계장치류 온도측정 / 공조시스템
백금박막 온도센서백금박막 온도센서 제작공정(패턴, 레이져 가공, 표면 SEM 사진)
 
 

금속박막 압력센서

금속 박막형 압력센서의 원리를 이용하고, 온도에 따른 저항변화율이 Zero가 되는 물질을 증착하여 고온, 고압에 사용가능한 압력센서를 개발합니다. 또한, Sensing Element 층에 온도센서를 증착하여 온도, 압력이 하나의 센서에서 측정가능합니다.

박막형 스트레인게이지식 압력센서는 스테인레스 스틸 다이어프램을 직접 수압부로 사용하여 구조가 단순하며, 반도체식 압력센서의 패키징 구조로 인한 고압에 취약한 문제를 해결할 수 있습니다. 감도가 반도체식 압력센서에 비해 떨어지나 열악한 환경에서도 고성능을 얻을 수 있어 고온/고압에서도 사용할 수 있습니다.

증착된 박막 스트레인게이지는 다른 압력센서들에 비해 우수한 장기안정성과 온도보상이 용이하며 전극부 작업도 간단하여 트랜스미터 제작에도 용이합니다.다이어프램과 나사부가 일체형 및 조립형 구조로 구성이 가능하며, 순간적인 가압에 강하고 압력누출의 우려가 없고 압력부 재질이 우수한 내부식 특성을 가지고 있습니다.

응용분야

  • 압력트랜스튜스&트랜스미터 / 산업자동화,공조시스템 / 자동화,항공 / 유공압 시스템, 콤프레사 / 의료계측 장비
반도체 공정을 이용한 금속박막형 압력센서

특징

  • 장기안정성
  • 온도보상 용이
  • 오일충진 불필요
  • 넓은 압력범위
  • 대량생산 가능
  • 우수한 선형성
 
 

정전용량형 습도센서

용량형 습도센서기술은 고성능을 발휘하면서 장기적으로 안정성을 가지도록 연구하고 있습니다.이 기술은 뛰어난 선형성과 반복성으로 높은 신뢰성은 물론이고, 빠른 응답 속도를 가지는 구조를 적용하면서도 낮은 온도 상수와 넓은 사용온도를 가집니다.

정전용량형 습도센서

정전용량형 습도센서는 반도체 기반공정으로 제작하였습니다.습도센서는 평행콘덴서구조이며, 상부와 하부 금속 박막층과 상부 금속 박막층은 전기전도체이며, 그 사이에 수분 감지 폴리머로 구성하였습니다.

상부 금속 박막층은 쉽게 수분이 침투할 수 있게 기공성으로 공정하였습니다.폴리머층은 공기중의 수분에 대하여 유전상수가 직접적으로 변화합니다.

센서는 구조적으로 안정하며, 우수한 선형성과 정확성, 낮은 온도 의존성, 빠른 응답시간으로 다양한 환경에서 측정할 수 있습니다.

응용분야

  • 자동차·에어컨 / 습도계·가전제품 / 물품저장고 / 공조시스템 / 의료기기 / 기상시스템 / 식품가공 / 실내환경관리
 
 

ESC 시스템용 압력센서 모듈

주행안정성 제어장치인 ESC(Electronic Stability Control) 시스템용 압력센서 모듈은 조향이 불가능한 상황이 발생했을 때 바퀴의 제동력을 제어하기 위해 최선의 동작을 하도록 지원합니다.

ESC 시스템은 각 바퀴의 제동력과 구동력이 독립적으로 제어가 되도록 구성되었고, 스티어링휠 각도, 브레이킹 압력, 차량속도 등을 감지 조절하므로 ABS, TCS에 기본으로 사용됩니다.

자동차 ESC 시스템용 압력센서 모듈

응용분야

  • ESC, ABS, TCS, TPMS 등
 
 

초소형 복합센서 및 SoC 개발

온도, 습도, 풍향, 풍속, 압력의 다른 특징과 기능을 발휘하는 센서를 하나의 칩으로 만들어서 복합적인 성능을 발휘하도록 구성하고,이것을 다양한 용도에 활용하기 위한 연구를 진행하고 있습니다.

전력소모를 최소화 하는 지능형 멀티센서로서 신호처리/프로세서 및 Wireless SoC화하도록 개발하고 있습니다. 저가이면서 소형으로 만들어지는 portable 무선 센서가 주종이며, USN용 센서 모듈로 각광받을 것으로 예상됩니다. 그 활용분야는 무한합니다.

응용분야

  • USN기술이 적용되는 전분야(도시, 건설, 물류, 교육 제조 등)

복합센서 구성

MEMS 기술과 SoC 기술을 이용한 초소형 복합센서모듈 개발
 
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